Minilock Duo от компании Trion Technology (США) - это компактная установка плазмохимического травления и осаждения с 2-мя реакторами, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.
Каждый из 2-х реакторов в данной установке соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, использование которого значительно экономит рабочее время.
Система лазмохимического травления и осаждения Minilock Duo может использоваться для плазмохимических процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы, например для сложных химических процессов, включая травление с использованием агрессивных веществ.
Вакуумный шлюз экономит рабочее время!
Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.
Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.
В установке Minilock Duo также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.
Травление и осаждение в одной системе:
· Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);
· Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.
Цена на установку травления и осаждения Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования компании "Серния", вопросы и заявки отправляйте на e-mail: sk@sernia.ru.