Закрыть
Регистрация
Закрыть
Логин:
Пароль:
Забыли свой пароль?
Регистрация
Каталог товаров

Minilock Duo от Trion Technology система плазмохимического травления и осаждения


Одноклассники Facebook LJ Twitter В Контакте Minilock Duo от Trion Technology система плазмохимического травления и осаждения

Minilock Duo от компании Trion Technology (США) - это компактная установка плазмохимического травления и осаждения с 2-мя реакторами, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.

Каждый из 2-х реакторов в  данной установке соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, использование которого значительно экономит рабочее время.

Система лазмохимического травления и осаждения Minilock Duo может использоваться для плазмохимических процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы, например для сложных химических процессов, включая травление с использованием агрессивных веществ.

Вакуумный шлюз экономит рабочее время!

Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.

Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.

В установке Minilock Duo также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.

Травление и осаждение в одной системе:
  • · Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);
  • · Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.

Цена на установку  травления и осаждения Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования компании "Серния", вопросы и заявки отправляйте на e-mail: [email protected].
Компания: Серния Инжиниринг, ООО
Дополнительные фотографии
Количество просмотров: 491
Назад в раздел

Заполните необходимые поля в приведенной ниже форме и нажмите кнопку "Отправить". Мы свяжемся с вами удобным для вас способом, в удобное для вас время.

Ваше имя*
Компания
Должность
E-mail*
Телефон
Ваши вопросы*

Введите текст на картинке *